導(dǎo)讀 關(guān)于光刻機(jī)與刻蝕機(jī)是一回事嗎,光刻機(jī)和刻蝕機(jī)的區(qū)別這個(gè)問(wèn)題很多朋友還不知道,今天小六來(lái)為大家解答以上的問(wèn)題,現(xiàn)在讓我們一起來(lái)看看吧
關(guān)于光刻機(jī)與刻蝕機(jī)是一回事嗎,光刻機(jī)和刻蝕機(jī)的區(qū)別這個(gè)問(wèn)題很多朋友還不知道,今天小六來(lái)為大家解答以上的問(wèn)題,現(xiàn)在讓我們一起來(lái)看看吧!
1、刻蝕相對(duì)光刻要容易。
2、光刻機(jī)把圖案印上去,然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒(méi)有圖案)的部分,留下剩余的部分。
3、“光刻”是指在涂滿(mǎn)光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線隔著光刻板對(duì)晶圓進(jìn)行一定時(shí)間的照射。
4、原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質(zhì),易于腐蝕。
5、“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。
6、然后用另一種腐蝕液對(duì)晶圓腐蝕,形成半導(dǎo)體器件及其電路。
本文分享完畢,希望對(duì)大家有所幫助。
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