導(dǎo)讀 關(guān)于sccm是什么單位圖,sccm是什么單位這個(gè)問題很多朋友還不知道,今天小六來為大家解答以上的問題,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!1、另一說法,
關(guān)于sccm是什么單位圖,sccm是什么單位這個(gè)問題很多朋友還不知道,今天小六來為大家解答以上的問題,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!
1、另一說法,SCCM 是質(zhì)流單位(Mass flow),與一般常用的流量單位是不同的,常見的流量單位例如: 1cc/sec.是代表單位時(shí)間流過之體積,而質(zhì)流是表示單位時(shí)間通過的氣體莫耳數(shù),這種單位通常用於化學(xué)反應(yīng)中,如CVD等需要精確控制原子成分比之場(chǎng)合(理想氣體公式: PV=NRT,當(dāng)處在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下,氣體體積比等於莫耳數(shù)比,所以只要控制氣體的質(zhì)流比就等於控制反應(yīng)氣體之莫耳數(shù)比)。
本文分享完畢,希望對(duì)大家有所幫助。
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