導(dǎo)讀 關(guān)于光刻膠成分及合成方式,光刻膠成分這個(gè)問題很多朋友還不知道,今天小六來為大家解答以上的問題,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!1、光刻膠(p
關(guān)于光刻膠成分及合成方式,光刻膠成分這個(gè)問題很多朋友還不知道,今天小六來為大家解答以上的問題,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!
1、光刻膠(photoresist,也作光致抗蝕劑,光阻),是一種由聚合物樹脂(resin),光敏化合物(photoactive compound)和溶劑等混合而成的膠狀液體,從成份上來講,都是碳基有機(jī)化合物。
2、樹脂,作為粘合劑的聚合物混合物,決定了光刻膠的機(jī)械和化學(xué)性能;光敏化合物,決定了光刻膠的光敏感度:當(dāng)受到特定波長能量束作用后,光敏化合物會(huì)分解或者聚合,激發(fā)化學(xué)反應(yīng),使受輻照區(qū)域在某些特定溶液中的溶解特性發(fā)生改變,或溶解性被增強(qiáng)或變得更難溶,進(jìn)而形成光刻膠圖案;溶劑,則可以改變光刻膠的粘度,從而在合理的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)得到所要的厚度。
本文分享完畢,希望對(duì)大家有所幫助。
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