導(dǎo)讀 安特衛(wèi)普大學(xué)(比利時(shí))的一個(gè)跨學(xué)科研究小組成功地對(duì)掃描電子顯微鏡 (SEM) 內(nèi)產(chǎn)生的等離子體進(jìn)行了原位研究。這標(biāo)志著首次在用等離子體處...
安特衛(wèi)普大學(xué)(比利時(shí))的一個(gè)跨學(xué)科研究小組成功地對(duì)掃描電子顯微鏡 (SEM) 內(nèi)產(chǎn)生的等離子體進(jìn)行了原位研究。這標(biāo)志著首次在用等離子體處理樣品的同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí) SEM 成像。該研究發(fā)表在《先進(jìn)材料技術(shù)》雜志上。
等離子體通常被描述為電離氣體或物質(zhì)的第四態(tài)，具有廣泛的應(yīng)用。例如，在半導(dǎo)體行業(yè)，它們?cè)谟糜谥圃煊?jì)算機(jī)芯片的光刻工藝中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
他們還對(duì)綠色化學(xué)應(yīng)用產(chǎn)生了濃厚的興趣，例如將CO2和CH4轉(zhuǎn)化為增值化學(xué)品或可再生燃料、用于綠色肥料生產(chǎn)的N2固定，以及生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用，例如癌癥治療、傷口愈合，或消毒。此外，等離子體也是廣泛研究的主題，以獲得更基本的見解。
等離子體應(yīng)用的許多相關(guān)過程發(fā)生在微觀水平上，其觀察通常需要超出傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡能力的高分辨率圖像。因此，本研究使用了掃描電子顯微鏡(SEM)。
這種顯微鏡使用高能電子的聚焦光束，在感興趣的材料表面上進(jìn)行掃描。通過收集電子束產(chǎn)生的各種信號(hào)并逐像素編譯它們，可以生成樣品的高度放大圖像，直至納米范圍。
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